Sistem pendingin nitrogen cair banyak digunakan dalam industri semikonduktor & chip, termasuk proses,
- Teknologi Epitaxy Balok Molekul (MBE)
- Tes chip setelah paket tongkol
Produk terkait
Seri pipa berinsulasi vakum
Seri selang vakum terisolasi fleksibel
Sistem pompa vakum dinamis
Seri pemisah fase terisolasi vakum
Seri Katup Berisolasi Vakum
Peralatan Dukungan Sistem Perpipaan
Epitaks balok molekul
Teknologi Epitaxy Balok Molekul (MBE) dikembangkan pada 1950 -an untuk menyiapkan bahan film tipis semikonduktor menggunakan teknologi penguapan vakum. Dengan pengembangan teknologi vakum yang sangat tinggi, penerapan teknologi telah diperluas ke bidang ilmu semikonduktor.
HL telah memperhatikan permintaan sistem pendingin nitrogen cair MBE, tulang punggung teknis terorganisir untuk berhasil mengembangkan sistem cooing nitrogen cair cair khusus untuk teknologi MBE dan satu set lengkap sistem perpipaan berinsulasi vakum, yang telah digunakan di banyak perusahaan, universitas dan lembaga penelitian penelitian .
Masalah umum industri semikonduktor & chip meliputi,
- Tekanan nitrogen cair ke dalam peralatan terminal (MBE). Cegah tekanan kelebihan tekanan dari peralatan terminal (MBE) yang merusak.
- Kontrol inlet dan outlet cair kriogenik ganda
- Suhu nitrogen cair menjadi peralatan terminal
- Jumlah yang masuk akal dari emisi gas cryogenic
- (Otomatis) Beralih dari jalur utama dan cabang
- Penyesuaian Tekanan (Pengurangan) dan Stabilitas VIP
- Membersihkan kemungkinan kotoran dan residu es dari tangki
- Pengisian waktu peralatan cair terminal
- Precooling pipa
- Resistensi cair dalam sistem VIP
- Kontrol hilangnya nitrogen cair selama layanan terputus sistem
HL's Vacuum Insulated Pipe (VIP) dibangun untuk ASME B31.3 Kode Piping Tekanan sebagai standar. Pengalaman rekayasa dan kemampuan kontrol kualitas untuk memastikan efisiensi dan efektivitas biaya pabrik pelanggan.
Solusi
Peralatan Cryogenic HL memberi pelanggan sistem perpipaan berinsulasi vakum untuk memenuhi persyaratan dan kondisi industri semikonduktor & chip:
1. Sistem manajemen kualitas: ASME B31.3 Kode perpipaan tekanan.
2. Sebuah pemisah fase khusus dengan beberapa inlet cairan kriogenik dan outlet dengan fungsi kontrol otomatis memenuhi kebutuhan emisi gas, nitrogen cair daur ulang dan suhu nitrogen cair.
3. Desain knalpot yang memadai dan tepat waktu memastikan bahwa peralatan terminal selalu berfungsi dalam nilai tekanan yang dirancang.
4. Penghalang gas-cair ditempatkan di pipa VI vertikal di ujung pipa VI. Penghalang gas-cair menggunakan prinsip segel gas untuk memblokir panas dari ujung pipa VI ke dalam pipa VI, dan secara efektif mengurangi hilangnya nitrogen cair selama layanan sistem yang terputus dan terputus-putus.
5.vi perpipaan yang dikendalikan oleh seri vacuum isoled valve (VIV): termasuk katup penutup vacuum terisolasi (pneumatik), katup periksa vakum terisolasi, katup pengatur vakum terisolasi dll. Berbagai jenis VIV dapat dikombinasikan untuk mengontrol VIP sebagai sebagai VIP as diperlukan. VIV diintegrasikan dengan prefabrikasi VIP di produsen, tanpa perlakuan terisolasi di tempat. Unit segel VIV dapat dengan mudah diganti. ;
6. Kekurangan, jika ada persyaratan tambahan untuk kebersihan permukaan tabung dalam. Disarankan agar pelanggan memilih pipa baja stainless BA atau EP sebagai pipa dalam VIP untuk lebih mengurangi tumpahan stainless steel.
7. VacUum Insulated Filter: Bersihkan kemungkinan kotoran dan residu es dari tangki.
8. Setelah beberapa hari atau lebih lama shutdown atau pemeliharaan, sangat penting untuk menganugerahkan VI perpipaan dan peralatan terminal sebelum cairan kriogenik dimasukkan, sehingga menghindari slag es setelah cairan cryogenic langsung memasuki perpipaan VI dan peralatan terminal. Fungsi precooling harus dipertimbangkan dalam desain. Ini memberikan perlindungan yang lebih baik untuk peralatan terminal dan peralatan pendukung perpipaan VI seperti katup.
9.Uit untuk sistem perpipaan vakum terisolasi (fleksibel) yang dinamis dan statis.
10. Sistem perpipaan vakum vakum terisolasi (fleksibel): terdiri dari selang fleksibel VI dan/atau pipa VI, selang jumper, sistem katup vakum, pemisah fase dan sistem pompa vakum dinamis (termasuk pompa vakum, katup solenoid dan pengukur vakum, dll. ). Panjang selang fleksibel VI tunggal dapat disesuaikan sesuai dengan persyaratan pengguna.
11. Jenis Koneksi Berlaku: Jenis Koneksi Bayonet Vakum (VBC) dan koneksi yang dilas dapat dipilih. Tipe VBC tidak memerlukan perawatan terisolasi di tempat.
