Sistem pendingin nitrogen cair banyak digunakan dalam industri semikonduktor & chip, termasuk proses,
- Teknologi Epitaksi Berkas Molekuler (MBE)
- Uji coba chip setelah paket COB
Produk Terkait
Seri Pipa Berisolasi Vakum
Seri Selang Fleksibel Berisolasi Vakum
Sistem Pompa Vakum Dinamis
Seri Pemisah Fase Terisolasi Vakum
Seri Katup Terisolasi Vakum
Peralatan Pendukung Sistem Perpipaan
EPITAKSI SINAR MOLEKUL
Teknologi Molecular Beam Epitaxy (MBE) dikembangkan pada tahun 1950-an untuk menyiapkan material film tipis semikonduktor menggunakan teknologi penguapan vakum. Dengan berkembangnya teknologi vakum ultra-tinggi, penerapan teknologi tersebut telah meluas ke bidang sains semikonduktor.
HL telah memperhatikan permintaan akan sistem pendingin nitrogen cair MBE, mengorganisasi tulang punggung teknis untuk berhasil mengembangkan sistem pendingin nitrogen cair MBE khusus untuk teknologi MBE dan satu set lengkap sistem perpipaan berisolasi vakum, yang telah digunakan di banyak perusahaan, universitas, dan lembaga penelitian.
Masalah umum industri semikonduktor & chip meliputi,
- Tekanan Nitrogen Cair ke dalam Peralatan Terminal (MBE). Mencegah Kelebihan Tekanan yang Merusak Peralatan Terminal (MBE).
- Beberapa Kontrol Saluran Masuk dan Keluar Cairan Kriogenik
- Suhu Nitrogen Cair ke Peralatan Terminal
- Emisi Gas Kriogenik dalam Jumlah Wajar
- (Otomatis) Pengalihan Jalur Utama dan Cabang
- Penyesuaian Tekanan (Pengurangan) dan Stabilitas VIP
- Membersihkan Kemungkinan Kotoran dan Residu Es dari Tangki
- Waktu Pengisian Peralatan Terminal Cairan
- Prapendinginan Pipa
- Resistensi Cairan dalam Sistem VIP
- Kontrol Kehilangan Nitrogen Cair Selama Layanan Sistem Tidak Berkelanjutan
Pipa Berinsulasi Vakum (VIP) HL dibuat berdasarkan kode Pipa Bertekanan ASME B31.3 sebagai standar. Pengalaman teknik dan kemampuan kontrol kualitas untuk memastikan efisiensi dan efektivitas biaya pabrik pelanggan.
SOLUSI
HL Cryogenic Equipment menyediakan Sistem Perpipaan Berisolasi Vakum kepada pelanggan untuk memenuhi persyaratan dan kondisi industri semikonduktor & chip:
1.Sistem Manajemen Mutu: Kode Perpipaan Tekanan ASME B31.3.
2. Pemisah Fase Khusus dengan Beberapa Saluran Masuk dan Keluar Cairan Kriogenik dengan fungsi kontrol otomatis memenuhi persyaratan emisi gas, nitrogen cair daur ulang, dan suhu nitrogen cair.
3.Desain pembuangan yang memadai dan tepat waktu memastikan bahwa peralatan terminal selalu bekerja dalam nilai tekanan yang dirancang.
4. Penghalang Gas-cair ditempatkan di pipa VI vertikal di ujung pipa VI. Penghalang Gas-cair menggunakan prinsip segel gas untuk menghalangi panas dari ujung pipa VI ke dalam Pipa VI, dan secara efektif mengurangi hilangnya nitrogen cair selama layanan sistem terputus-putus dan terputus-putus.
5.VI Piping Dikendalikan oleh Seri Katup Terisolasi Vakum (VIV): Termasuk Katup Penutup Terisolasi Vakum (Pneumatik), Katup Periksa Terisolasi Vakum, Katup Pengatur Terisolasi Vakum, dll. Berbagai jenis VIV dapat dikombinasikan secara modular untuk mengendalikan VIP sesuai kebutuhan. VIV terintegrasi dengan prafabrikasi VIP di pabrik, tanpa perawatan Terisolasi di tempat. Unit segel VIV dapat diganti dengan mudah. (HL menerima merek katup kriogenik yang ditetapkan oleh pelanggan, dan kemudian membuat katup terisolasi vakum oleh HL. Beberapa merek dan model katup mungkin tidak dapat dibuat menjadi katup terisolasi vakum.)
6. Kebersihan, jika ada persyaratan tambahan untuk kebersihan permukaan ban dalam. Disarankan agar pelanggan memilih pipa baja tahan karat BA atau EP sebagai pipa bagian dalam VIP untuk lebih mengurangi tumpahan baja tahan karat.
7.Filter Berisolasi Vakum: Bersihkan kemungkinan kotoran dan sisa es dari tangki.
8. Setelah beberapa hari atau lebih lama penghentian atau perawatan, sangat penting untuk melakukan prapendinginan Pipa VI dan peralatan terminal sebelum cairan kriogenik dimasukkan, untuk menghindari terbentuknya es setelah cairan kriogenik langsung masuk ke Pipa VI dan peralatan terminal. Fungsi prapendinginan harus dipertimbangkan dalam desain. Fungsi ini memberikan perlindungan yang lebih baik untuk peralatan terminal dan peralatan pendukung Pipa VI seperti katup.
9. Cocok untuk Sistem Perpipaan Berisolasi Vakum (Fleksibel) Dinamis dan Statis.
10. Sistem Perpipaan Terisolasi Vakum Dinamis (Fleksibel): Terdiri dari Selang Fleksibel VI dan/atau Pipa VI, Selang Jumper, Sistem Katup Terisolasi Vakum, Pemisah Fase, dan Sistem Pompa Vakum Dinamis (termasuk pompa vakum, katup solenoida, dan pengukur vakum, dll.). Panjang Selang Fleksibel VI tunggal dapat disesuaikan menurut kebutuhan pengguna.
11.Berbagai Jenis Sambungan: Jenis Sambungan Bayonet Vakum (VBC) dan Sambungan Las dapat dipilih. Jenis VBC tidak memerlukan perawatan isolasi di lokasi.
