Sistem pendingin nitrogen cair banyak digunakan dalam industri semikonduktor & chip, termasuk proses,
- Teknologi Molecular Beam Epitaxy (MBE)
- Tes chip setelah paket COB
Produk Terkait
Seri Pipa Terisolasi Vakum
Seri Selang Fleksibel Berisolasi Vakum
Sistem Pompa Vakum Dinamis
Seri Pemisah Fase Terisolasi Vakum
Seri Katup Terisolasi Vakum
Peralatan Penunjang Sistem Perpipaan
EPITAKS BALOK MOLEKULER
Teknologi Molecular Beam Epitaxy (MBE) dikembangkan pada tahun 1950-an untuk menyiapkan bahan film tipis semikonduktor dengan menggunakan teknologi evaporasi vakum. Dengan berkembangnya teknologi vakum ultra-tinggi, penerapan teknologi tersebut telah diperluas ke bidang ilmu semikonduktor.
HL telah memperhatikan permintaan sistem pendingin nitrogen cair MBE, mengorganisir tulang punggung teknis untuk berhasil mengembangkan sistem pendingin nitrogen cair MBE khusus untuk teknologi MBE dan satu set lengkap sistem perpipaan berinsulasi vakum, yang telah digunakan di banyak perusahaan, universitas, dan lembaga penelitian. .
Masalah umum industri semikonduktor & chip meliputi,
- Tekanan Nitrogen Cair ke dalam Peralatan Terminal (MBE). Mencegah Kelebihan Tekanan dari Peralatan Terminal yang Merusak (MBE).
- Kontrol Saluran Masuk dan Keluar Cairan Kriogenik Berganda
- Suhu Nitrogen Cair ke dalam Peralatan Terminal
- Emisi Gas Kriogenik dalam Jumlah yang Wajar
- (Otomatis) Peralihan Jalur Utama dan Cabang
- Penyesuaian Tekanan (Pengurangan) dan Stabilitas VIP
- Membersihkan Kemungkinan Kotoran dan Residu Es dari Tangki
- Waktu Pengisian Peralatan Cairan Terminal
- Pendinginan Awal Pipa
- Ketahanan Cairan dalam Sistem VIP
- Mengontrol Hilangnya Nitrogen Cair Selama Layanan Sistem yang Terputus
Pipa Insulasi Vakum (VIP) HL dibuat dengan kode Perpipaan Tekanan ASME B31.3 sebagai standar. Pengalaman teknik dan kemampuan kontrol kualitas untuk memastikan efisiensi dan efektivitas biaya pabrik pelanggan.
SOLUSI
HL Cryogenic Equipment menyediakan Sistem Perpipaan Terisolasi Vakum kepada pelanggan untuk memenuhi persyaratan dan ketentuan industri semikonduktor & chip:
1. Sistem Manajemen Mutu: Kode Perpipaan Tekanan ASME B31.3.
2. Pemisah Fase Khusus dengan Saluran Masuk dan Keluar Cairan Kriogenik Berganda dengan fungsi kontrol otomatis memenuhi persyaratan emisi gas, nitrogen cair daur ulang, dan suhu nitrogen cair.
3. Desain pembuangan yang memadai dan tepat waktu memastikan bahwa peralatan terminal selalu bekerja dalam nilai tekanan yang dirancang.
4. Penghalang Gas-cair ditempatkan pada pipa VI vertikal di ujung pipa VI. Penghalang Gas-cair menggunakan prinsip segel gas untuk memblokir panas dari ujung pipa VI ke dalam Pipa VI, dan secara efektif mengurangi hilangnya nitrogen cair selama layanan sistem terputus-putus dan terputus-putus.
5.VI Perpipaan Dikendalikan oleh Seri Katup Terisolasi Vakum (VIV): Termasuk Katup Penutup Terisolasi Vakum (Pneumatik), Katup Periksa Terisolasi Vakum, Katup Pengatur Terisolasi Vakum, dll. Berbagai jenis VIV dapat digabungkan secara modular untuk mengontrol VIP sebagai diperlukan. VIV terintegrasi dengan prefabrikasi VIP di pabriknya, tanpa perawatan Insulasi di tempat. Unit segel VIV dapat diganti dengan mudah. (HL menerima merek katup kriogenik yang ditunjuk oleh pelanggan, dan kemudian membuat katup berinsulasi vakum oleh HL. Beberapa merek dan model katup mungkin tidak dapat dibuat menjadi katup berinsulasi vakum.)
6.Kebersihan, jika ada persyaratan tambahan untuk kebersihan permukaan ban dalam. Disarankan agar pelanggan memilih pipa baja tahan karat BA atau EP sebagai pipa bagian dalam VIP untuk lebih mengurangi tumpahan baja tahan karat.
7. Filter Terisolasi Vakum: Bersihkan kemungkinan kotoran dan sisa es dari tangki.
8.Setelah beberapa hari atau lebih lama dimatikan atau dirawat, sangat perlu dilakukan pendinginan awal pada Peralatan Pipa dan terminal VI sebelum cairan kriogenik dimasukkan, untuk menghindari terak es setelah cairan kriogenik langsung masuk ke dalam Pipa VI dan peralatan terminal. Fungsi pendinginan awal harus dipertimbangkan dalam desain. Ini memberikan perlindungan yang lebih baik untuk peralatan terminal dan peralatan pendukung Perpipaan VI seperti katup.
9. Cocok untuk Sistem Perpipaan Terisolasi Vakum (Fleksibel) Dinamis dan Statis.
10. Sistem Perpipaan Berisolasi Vakum Dinamis (Fleksibel): Terdiri dari Selang Fleksibel VI dan/atau Pipa VI, Selang Jumper, Sistem Katup Berisolasi Vakum, Pemisah Fase dan Sistem Pompa Vakum Dinamis (termasuk pompa vakum, katup solenoid, dan pengukur vakum, dll. ). Panjang Selang Fleksibel VI tunggal dapat disesuaikan dengan kebutuhan pengguna.
11.Berbagai Jenis Sambungan: Jenis Sambungan Vakum Bayonet (VBC) dan Sambungan Las dapat dipilih. Tipe VBC tidak memerlukan perawatan isolasi di tempat.
