Proyek Chip MBE selesai dalam beberapa tahun terakhir

Teknologi

Epitaks balok molekul, atau MBE, adalah teknik baru untuk menumbuhkan film tipis kristal berkualitas tinggi pada substrat kristal. In ultra-high vacuum conditions, by the heating stove is equipped with all kinds of required components and generate steam, through holes formed after collimating beam atomic or molecular beam, direct injection to the appropriate temperature of the single crystal substrate, controlling molecular beam to Pemindaian substrat pada saat yang sama, itu dapat membuat molekul atau atom dalam lapisan penyelarasan kristal untuk membentuk film tipis pada "pertumbuhan" substrat.

Untuk pengoperasian normal peralatan MBE, kemurnian tinggi, tekanan rendah dan nitrogen cair ultra-bersih diperlukan untuk secara terus menerus dan diangkut secara stabil ke ruang pendingin peralatan. Secara umum, sebuah tangki yang menyediakan nitrogen cair memiliki tekanan output antara 0,3MPA dan 0,8MPA. Nitrogen cair pada -196 ℃ mudah diuapkan menjadi nitrogen selama transportasi pipa. Setelah nitrogen cair dengan rasio gas-cair sekitar 1: 700 diberi gasi di dalam pipa, ia akan menempati sejumlah besar ruang aliran nitrogen cair dan mengurangi aliran normal pada akhir pipa nitrogen cair. Selain itu, di tangki penyimpanan nitrogen cair, kemungkinan ada puing -puing yang belum dibersihkan. Dalam pipa nitrogen cair, keberadaan udara basah juga akan menyebabkan generasi terak es. Jika kotoran ini dibuang ke peralatan, itu akan menyebabkan kerusakan yang tidak dapat diprediksi pada peralatan.

Oleh karena itu, nitrogen cair di tangki penyimpanan luar ruangan diangkut ke peralatan MBE di bengkel bebas debu dengan efisiensi tinggi, stabilitas dan bersih, dan tekanan rendah, tidak ada nitrogen, tidak ada kotoran, 24 jam tanpa gangguan, sistem kontrol transportasi tersebut adalah produk yang memenuhi syarat.

TCM (4)
TCM (1)
TCM (3)

Pencocokan peralatan MBE

Sejak 2005, HL Cryogenic Equipment (HL Cryo) telah mengoptimalkan dan meningkatkan sistem ini dan bekerja sama dengan produsen peralatan MBE internasional. Produsen peralatan MBE, termasuk DCA, Reber, memiliki hubungan kerja sama dengan perusahaan kami. Produsen peralatan MBE, termasuk DCA dan Reber, telah bekerja sama dalam sejumlah besar proyek.

Riber SA adalah penyedia global terkemuka produk -produk molekul balok molekul (MBE) dan layanan terkait untuk penelitian semikonduktor majemuk dan aplikasi industri. Perangkat Riber MBE dapat menyimpan lapisan material yang sangat tipis pada substrat, dengan kontrol yang sangat tinggi. Peralatan vakum peralatan cryogenic HL (HL Cryo) dilengkapi dengan Riber SA peralatan terbesar adalah Riber 6000 dan yang terkecil kompak 21. Ini dalam kondisi baik dan telah diakui oleh pelanggan.

DCA adalah MBE oksida terkemuka di dunia. Sejak 1993, pengembangan sistematis teknik oksidasi, pemanasan substrat antioksidan dan sumber antioksidan telah dilakukan. Untuk alasan ini, banyak laboratorium terkemuka telah memilih teknologi DCA oksida. Sistem MBE semikonduktor komposit digunakan di seluruh dunia. Sistem sirkulasi nitrogen cair VJ dari peralatan cryogenic HL (HL Cryo) dan peralatan MBE dari beberapa model DCA memiliki pengalaman yang cocok di banyak proyek, seperti model P600, R450, SGC800 dll.

TCM (2)

Tabel kinerja

Institut Fisika Teknis Shanghai, Akademi Ilmu Pengetahuan Cina
Institut ke -11 China Electronics Technology Corporation
Institute of Semiconductors, Akademi Ilmu Pengetahuan Cina
Huawei
Akademi Alibaba Damo
PowerTech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Waktu posting: Mei-26-2021

Tinggalkan pesan Anda