Teknologi
Epitaksi berkas molekul, atau MBE, adalah teknik baru untuk menumbuhkan lapisan tipis kristal berkualitas tinggi pada substrat kristal. Dalam kondisi vakum ultra-tinggi, kompor pemanas dilengkapi dengan berbagai komponen yang dibutuhkan dan menghasilkan uap. Melalui lubang yang terbentuk setelah kolimasi berkas atom atau molekul, injeksi langsung dilakukan pada suhu yang sesuai pada substrat kristal tunggal. Kontrol berkas molekul ke pemindaian substrat secara bersamaan dapat membuat molekul atau atom dalam lapisan penyelarasan kristal membentuk lapisan tipis pada substrat yang "bertumbuh".
Untuk pengoperasian normal peralatan MBE, nitrogen cair dengan kemurnian tinggi, tekanan rendah, dan ultra-bersih diperlukan untuk diangkut secara terus menerus dan stabil ke ruang pendingin peralatan. Secara umum, tangki yang menyediakan nitrogen cair memiliki tekanan keluaran antara 0,3MPa dan 0,8MPa. Nitrogen cair pada suhu -196℃ mudah diuapkan menjadi nitrogen selama pengangkutan melalui pipa. Setelah nitrogen cair dengan rasio gas-cair sekitar 1:700 digasifikasi di dalam pipa, ia akan menempati sejumlah besar ruang aliran nitrogen cair dan mengurangi aliran normal di ujung pipa nitrogen cair. Selain itu, di dalam tangki penyimpanan nitrogen cair, kemungkinan terdapat serpihan yang belum dibersihkan. Di dalam pipa nitrogen cair, keberadaan udara basah juga akan menyebabkan pembentukan es terak. Jika kotoran ini dibuang ke dalam peralatan, itu akan menyebabkan kerusakan yang tidak terduga pada peralatan.
Oleh karena itu, nitrogen cair dalam tangki penyimpanan luar ruangan diangkut ke peralatan MBE di bengkel bebas debu dengan efisiensi tinggi, stabil dan bersih, dan tekanan rendah, tanpa nitrogen, tanpa kotoran, 24 jam tanpa gangguan, sistem kontrol transportasi semacam itu merupakan produk yang memenuhi syarat.



Peralatan MBE yang cocok
Sejak tahun 2005, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) telah mengoptimalkan dan meningkatkan sistem ini serta bekerja sama dengan produsen peralatan MBE internasional. Produsen peralatan MBE, termasuk DCA dan REBER, telah menjalin hubungan kerja sama dengan perusahaan kami. Produsen peralatan MBE, termasuk DCA dan REBER, telah bekerja sama dalam banyak proyek.
Riber SA adalah penyedia global terkemuka produk epitaksi berkas molekul (MBE) dan layanan terkait untuk penelitian semikonduktor majemuk dan aplikasi industri. Perangkat MBE Riber dapat mendepositkan lapisan material yang sangat tipis pada substrat, dengan kontrol yang sangat tinggi. Peralatan vakum HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) dilengkapi dengan Riber SA. Peralatan terbesar adalah Riber 6000 dan yang terkecil adalah Compact 21. Peralatan ini dalam kondisi baik dan telah diakui oleh pelanggan.
DCA adalah MBE oksida terkemuka di dunia. Sejak tahun 1993, pengembangan sistematis teknik oksidasi, pemanasan substrat antioksidan, dan sumber antioksidan telah dilakukan. Karena alasan ini, banyak laboratorium terkemuka telah memilih teknologi oksida DCA. Sistem MBE semikonduktor komposit digunakan di seluruh dunia. Sistem sirkulasi nitrogen cair VJ dari HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) dan peralatan MBE dari berbagai model DCA memiliki pengalaman yang sama dalam banyak proyek, seperti model P600, R450, SGC800, dll.

Tabel Kinerja
Institut Fisika Teknis Shanghai, Akademi Ilmu Pengetahuan Tiongkok |
Institut Teknologi Elektronik Tiongkok ke-11 |
Institut Semikonduktor, Akademi Ilmu Pengetahuan Tiongkok |
Huawei |
Akademi DAMO Alibaba |
Powertech Technology Inc. |
Delta Electronics Inc. |
Suzhou Everbright Photonics |
Waktu posting: 26 Mei 2021