Teknologi
Epitaksi berkas molekul, atau MBE, adalah teknik baru untuk menumbuhkan lapisan tipis kristal berkualitas tinggi pada substrat kristal. Dalam kondisi vakum ultra-tinggi, dengan kompor pemanas dilengkapi dengan semua jenis komponen yang diperlukan dan menghasilkan uap, melalui lubang yang terbentuk setelah mengkolimasi berkas atom atau berkas molekul, injeksi langsung ke suhu yang sesuai dari substrat kristal tunggal, mengendalikan berkas molekul ke pemindaian substrat pada saat yang sama, dapat membuat molekul atau atom dalam lapisan penyelarasan kristal membentuk lapisan tipis pada substrat "pertumbuhan".
Untuk pengoperasian normal peralatan MBE, nitrogen cair dengan kemurnian tinggi, tekanan rendah, dan sangat bersih diperlukan untuk diangkut secara terus menerus dan stabil ke ruang pendingin peralatan. Secara umum, tangki yang menyediakan nitrogen cair memiliki tekanan keluaran antara 0,3MPa dan 0,8MPa. Nitrogen cair pada -196℃ mudah diuapkan menjadi nitrogen selama transportasi pipa. Setelah nitrogen cair dengan rasio gas-cair sekitar 1:700 digasifikasi di dalam pipa, nitrogen tersebut akan menempati sejumlah besar ruang aliran nitrogen cair dan mengurangi aliran normal di ujung pipa nitrogen cair. Selain itu, di dalam tangki penyimpanan nitrogen cair kemungkinan besar terdapat kotoran yang belum dibersihkan. Pada pipa nitrogen cair, keberadaan udara basah juga akan menyebabkan terbentuknya terak es. Jika kotoran ini dibuang ke dalam peralatan, maka akan menyebabkan kerusakan yang tidak terduga pada peralatan.
Oleh karena itu, nitrogen cair di tangki penyimpanan luar ruangan diangkut ke peralatan MBE di bengkel bebas debu dengan efisiensi tinggi, stabilitas dan bersih, serta tekanan rendah, tanpa nitrogen, tanpa kotoran, 24 jam tanpa gangguan, sistem kendali transportasi tersebut adalah suatu produk yang berkualitas.
Peralatan MBE yang cocok
Sejak tahun 2005, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) telah mengoptimalkan dan meningkatkan sistem ini dan bekerja sama dengan produsen peralatan MBE internasional. Produsen peralatan MBE, termasuk DCA, REBER, memiliki hubungan kerja sama dengan perusahaan kami. Produsen peralatan MBE, termasuk DCA dan REBER, telah bekerja sama dalam banyak proyek.
Riber SA adalah penyedia produk-produk molekuler beam epitaksi (MBE) global terkemuka dan layanan terkait untuk penelitian semikonduktor senyawa dan aplikasi industri. Perangkat Riber MBE dapat menyimpan lapisan material yang sangat tipis pada substrat, dengan kontrol yang sangat tinggi. Peralatan vakum HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) dilengkapi dengan Riber SA. Peralatan terbesar adalah Riber 6000 dan yang terkecil adalah Compact 21. Kondisinya baik dan telah diakui oleh pelanggan.
DCA adalah MBE oksida terkemuka di dunia. Sejak tahun 1993, pengembangan sistematis teknik oksidasi, pemanasan substrat antioksidan dan sumber antioksidan telah dilakukan. Karena alasan ini, banyak laboratorium terkemuka telah memilih teknologi DCA oksida. Sistem MBE semikonduktor komposit digunakan di seluruh dunia. Sistem sirkulasi nitrogen cair VJ dari Peralatan Kriogenik HL (HL CRYO) dan peralatan MBE dari beberapa model DCA memiliki pengalaman yang cocok di banyak proyek, seperti model P600, R450, SGC800, dll.
Tabel Kinerja
Institut Fisika Teknis Shanghai, Akademi Ilmu Pengetahuan Tiongkok |
Institut Perusahaan Teknologi Elektronika China ke-11 |
Institut Semikonduktor, Akademi Ilmu Pengetahuan Tiongkok |
Huawei |
Akademi Alibaba DAMO |
Teknologi Powertech Inc. |
Delta elektronik Inc. |
Fotonik Suzhou Everbright |
Waktu posting: 26 Mei-2021