Ringkasan Epitaksi Berkas Molekuler (MBE)
Teknologi Epitaksi Berkas Molekuler (MBE) dikembangkan pada tahun 1950-an untuk menyiapkan material lapisan tipis semikonduktor menggunakan teknologi penguapan vakum. Dengan perkembangan teknologi vakum ultra-tinggi, penerapan teknologi ini telah meluas ke bidang ilmu semikonduktor.
Motivasi penelitian material semikonduktor adalah permintaan akan perangkat baru, yang dapat meningkatkan kinerja sistem. Pada gilirannya, teknologi material baru dapat menghasilkan peralatan dan teknologi baru. Epitaksi berkas molekul (MBE) adalah teknologi vakum tinggi untuk pertumbuhan lapisan epitaksial (biasanya semikonduktor). Teknologi ini menggunakan berkas panas atom atau molekul sumber yang mengenai substrat kristal tunggal. Karakteristik vakum ultra-tinggi dari proses ini memungkinkan metalisasi in-situ dan pertumbuhan material isolasi pada permukaan semikonduktor yang baru tumbuh, menghasilkan antarmuka yang bebas polusi.
Teknologi MBE
Epitaksi berkas molekul dilakukan dalam vakum tinggi atau vakum ultra tinggi (1 x 10-8Lingkungan Pa). Aspek terpenting dari epitaksi berkas molekul adalah laju deposisinya yang rendah, yang biasanya memungkinkan film tumbuh epitaksial dengan laju kurang dari 3000 nm per jam. Laju deposisi yang rendah ini membutuhkan vakum yang cukup tinggi untuk mencapai tingkat kebersihan yang sama dengan metode deposisi lainnya.
Untuk memenuhi kondisi vakum ultra-tinggi yang dijelaskan di atas, perangkat MBE (sel Knudsen) memiliki lapisan pendingin, dan lingkungan vakum ultra-tinggi di ruang pertumbuhan harus dipertahankan menggunakan sistem sirkulasi nitrogen cair. Nitrogen cair mendinginkan suhu internal perangkat hingga 77 Kelvin (−196 °C). Lingkungan bersuhu rendah ini dapat mengurangi kandungan pengotor dalam vakum dan memberikan kondisi yang lebih baik untuk deposisi lapisan tipis. Oleh karena itu, sistem sirkulasi pendingin nitrogen cair khusus diperlukan agar peralatan MBE dapat menyediakan pasokan nitrogen cair -196 °C yang berkelanjutan dan stabil.
Sistem Sirkulasi Pendingin Nitrogen Cair
Sistem sirkulasi pendingin nitrogen cair vakum terutama meliputi,
● tangki kriogenik
● pipa berjaket vakum utama dan cabang / selang berjaket vakum
● Pemisah fase khusus MBE dan pipa knalpot berjaket vakum
● berbagai katup berjaket vakum
● penghalang gas-cair
● filter berjaket vakum
● sistem pompa vakum dinamis
● Sistem pra-pendinginan dan pemanasan ulang pembersihan
Perusahaan Peralatan Kriogenik HL telah memperhatikan permintaan sistem pendingin nitrogen cair MBE, mengorganisir tulang punggung teknis untuk berhasil mengembangkan sistem pendingin nitrogen cair MBE khusus untuk teknologi MBE dan satu set lengkap isolasi vakumedsistem perpipaan, yang telah digunakan di banyak perusahaan, universitas, dan lembaga penelitian.
Peralatan Kriogenik HL
HL Cryogenic Equipment, yang didirikan pada tahun 1992, merupakan merek yang berafiliasi dengan Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company di Tiongkok. HL Cryogenic Equipment berkomitmen pada desain dan manufaktur Sistem Perpipaan Kriogenik Berinsulasi Vakum Tinggi dan Peralatan Pendukung terkait.
Untuk informasi lebih lanjut, silakan kunjungi situs web resmiwww.hlcryo.com, atau email keinfo@cdholy.com.
Waktu posting: 06-Mei-2021
